1 марта в НИЯУ МИФИ состоится семинар «Оборудование для исследования и модификации поверхности»
Приглашаем принять участие в семинаре «Оборудование для исследования и модификации поверхности». Семинар ориентирован на специалистов, студентов и аспирантов, специализирующихся в области наук о материалах и в микроэлектронике.
На семинаре будет рассказано об инновационных достижениях в фотоэлектронной спектроскопии, сканирующей туннельной микроскопии, сканирующей электронной микроскопии, ионно-лучевой технологии, примерах применения этих методов в материаловедении и микроэлектронике.
Программа семинара:
- Решения TESCAN для электронно-лучевой и ионно-лучевой литографии. Докладчик: Hana Tesařová, Ph.D., Руководитель направления по исследованию веществ и материалов фирмы "TESCAN ORSAY HOLDING a.s., Чехия.
- Опыт применения сканирующего электронного микроскопа TESCAN FERA с плазменным источником ионов ксенона для создания прототипов микро- и наноустройств. Сравнение с другими типами ионных источников, применяемых для нано-конструирования. Докладчик: Мария Лукашова, к.ф.-м.н, Специалист по применению оборудования фирмы "TESCAN ORSAY HOLDING a.s., Чехия, ООО «ТЕСКАН».
- Решения TESCAN для исследования изделий микроэлектроники, конструкционных и функциональных материалов. Докладчик: Hana Tesařová, Ph.D., Руководитель направления по исследованию веществ и материалов фирмы "TESCAN ORSAY HOLDING a.s., Чехия
- SIGMA SurfaceScience – новый производитель оборудования для фотоэлектронной спектроскопии и сканирующей зондовой микроскопии. Докладчик: Николай Миловзоров, к.т.н., ООО «ТЕСКАН».
Место и время проведения семинара: конференц-зал 3-го этажа главного корпуса, 10.00
27.02.2017
18