НИЯУ МИФИ получил патент на интерферометр для измерения линейных перемещений сканера зондового микроскопа
19
августа
2016
Исследования и технологические разработки в области нанотехнологий требуют создания принципиально новых средств и методов, позволяющих не только наблюдать структуру материалов и процессы, происходящие в нанометровых масштабах, но и получать количественную оценку различных физических величин и параметров, определяющих их свойства. Одним из основных параметров, определяющим качественное изменение свойств материалов при переходе к нанометровым масштабам, является их линейный размер. В настоящее время контроль и измерение линейных размеров в нанометровом диапазоне осуществляется в основном различными сканирующими микроскопами. Для обеспечения прослеживаемости измерений сканирующих микроскопов к первичному эталону метра используются лазерные интерферометры.
Сотрудниками кафедры «Лазерная физика» изобретен «Интерферометр для измерения линейных перемещений сканера зондового микроскопа» (Патент № 2587686) .
Разработанный интерферометр предназначен для измерения перемещений сканера зондового микроскопа в трех ортогональных плоскостях. Особенности оптической схемы позволяют встраивать его во многие серийно выпускаемые микроскопы. Низкий уровень собственных шумов интерферометра обеспечивает высокую точность проводимых измерений, а использование частотно стабилизированного лазера - прослеживаемость к единице длины.
Авторы изобретения: Т.В. Казиева (аспирантка 2-го года обучения), д.ф.-м.н. А.П. Кузнецов, к.ф.-м.н. К.Л. Губский.
18
