Кафедра «Микро- и наноэлектроники» отметила 60-летие!

1 февраля выпускники и сотрудники кафедры № 27 ИНТЭЛа собрались, чтобы отметить юбилей, вспомнить ее основателей, свои годы учебы и работы на ней.

60-летие кафедры № 27. 1 февраля 2025 года

Первая в СССР кафедра микроэлектроники была создана шестьдесят лет назад в Московском инженерно-физическом институте в то время, когда в США и СССР начали осваивать серийный выпуск первых интегральных микросхем (ИМС). В начале 1965 г. был издан приказ МинВуза РСФСР № 72 о создании в МИФИ первой в стране кафедры микроэлектроники, а ректор вуза В.Г. Кириллов-Угрюмов подписал приказ по МИФИ о создании кафедры № 27 (три в кубе!) с 1 февраля 1965 г.

Первый заведующий кафедрой (1965-1982) Игорь Павлович Степаненко 

Со дня основания до 1982 г. возглавлял кафедру профессор И. П. Степаненко (еще с 1952 года он был заведующим кафедрой электроники Московского Механического института боеприпасов (ММИБ), как тогда назывался МИФИ), затем — профессор А. В. Шальнов и с 1997 г. — профессор В. С. Першенков. В становлении и развитии научно-учебного процесса принимали участие специалисты электронной промышленности Б. В. Малин (один из разработчиков первой отечественной ИМС), А. Г. Алексенко (ведущий специалист космического приборостроения), К. А. Валиев и А. А. Орликовский (ныне академики РАН). На кафедре была создана технологическая лаборатория, оснащенная оборудованием, обеспечивающим основные процессы изготовления гибридных и полупроводниковых ИМС.

Первый состав кафедры электроники

Главной задачей кафедры являлась подготовка квалифицированных специалистов-микроэлектронщиков для отраслевых НИИ и промышленных предприятий оборонного комплекса. Многие научные направления кафедры носили поисковый характер (варакторная и тиристорная микроэлектроника, освоение МЭМС-технологий, диоды Ганна, фотоприемные матрицы, биомедицинские интегральные датчики, приборы и микросистемы).

Уже в 60-е годы МИФИ располагал собственной научно-исследовательской базой (ядерными установками, ускорителями заряженных частиц и другими источниками ионизирующих излучений) для экспериментального исследования действия радиации на элементы и компоненты электронной аппаратуры. Благодаря таким возможностям проведение исследований влияния различных видов радиации на ИМС стало одним из основных научных направлений кафедры с 1966 г. и по сегодняшний день.

С начала 1970-х годов на кафедре микроэлектроники МИФИ стали разрабатываться первые в СССР кремниевые интегральные датчики давления и ускорения на основе МЭМС-технологий, что стало началом нового для кафедры научного направления — датчики на основе микротехнологий. Сотрудниками кафедры были разработаны фото-приемные матрицы, интегральные датчики индукции магнитного поля, концентрации ионов в растворах электролитов, концентраций водородсодержащих газов, мультимикроэлектроды и активные биоэлектроды, фотоплетизмографические датчики. 

Учебник И.П. Степаненко «Основы теории транзисторов и транзисторных схем», 1963 г. ( Издат. «Радио и связь») с дарственной надписью Л.Р. Патрикееву.
Первое издание – 1958 год, 100 экз., ротапринт. Издание 1963 года в твердом переплете вышло тиражом 65 000 экз., выдержало 6 переизданий, а общий тираж составил 450 000 экз.

Учебник И.П. Степаненко «Основы микроэлектроники», постоянно переиздается

Учебные пособия, изданные под редакцией И.П. Степаненко

Другими важными научными направлениями кафедры с 1970-х годов стали разработки и применения ИМС памяти, АЦП, микропроцессоров, микроконтроллеров, цифровых процессоров обработки сигналов в специализированных электронных системах ядерного, космического и медицинского приборостроения. 

Посещение кафедры руководством МинЭлектронПрома. На фото: В.М. Колобашкин, И.П. Степаненко,  В.Г. Колесников, В.М. Пролейко, О.С. Булатов, Л.Р. Патрикеев, В.И. Иванов

В последние годы, помимо перечисленных научных направлений, важными являются разработки портативных приборов и систем для оценки радиоактивности среды, малых концентраций взрывчатых и наркотических веществ, а также токсичных и взрывоопасных газов, измерения дозы электромагнитного излучения, поглощенной человеком. Большой вклад в развитие новых научных направлений внесли Л. Н. Патрикеев, И. И. Шагурин, В. С. Першенков, В. Д. Попов, О. Р. Мочалкина, В. И. Ваганов, В. И. Старосельский, А. С. Березин, Е. М. Онищенко, В. А. Лапшинский, Б. И. Подлепецкий, Ю. А. Воронов, А. Б. Симаков, Ю. И. Бочаров, В. В. Беляков, Г. И. Зебрев.

Вячеслав Сергеевич Першенков, заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники с 1997 по 2022 гг.

«С гордостью оглядываясь на нашу историю и достижения, я хочу выразить свои искренние пожелания и надежды на будущее нашей кафедры – пусть наша кафедра и дальше сохраняет и развивает традиции, заложенные нашими предшественниками, – сказал, открывая торжественный вечер, заведующий кафедрой микро- и наноэлектроники Александр Родин. – Мы всегда должны стремиться к высоким стандартам в обучении и научных исследованиях, чтобы воспитывать квалифицированных специалистов, способных решать современные задачи микроэлектроники. Желаю всем нам активно внедрять новые технологии и подходы в научные исследования. Надеюсь на дальнейшее сотрудничество с промышленностью и научными учреждениями, оно позволит нам не только обмениваться опытом, но и реализовывать совместные проекты, которые будут способствовать развитию микроэлектроники в нашей стране. Пожелаю всем преподавателям уделять особое внимание нашим студентам, и, вдохновляя их на учебу и исследования, создавать атмосферу, в которой каждый сможет раскрыть свой потенциал и внести вклад в развитие кафедры. Важно, чтобы мы продолжали развивать нашу научно-исследовательскую базу и инфраструктуру, обеспечивая доступ к современному оборудованию и ресурсам для проведения экспериментов и исследований».

Александр Родин: «Хочу пожелать всем нам крепкого здоровья и благополучия! Пусть каждый день приносит радость и вдохновение,
а трудности обходят стороной. Заботьтесь о себе и своих близких, находите время для отдыха и восстановления сил!»

Большой подарок всем собравшимся сделал ветеран МИФИ, профессор кафедры Лев Николаевич Патрикеев – он выступил с рассказом об Игоре Павловиче Степаненко, о его вкладе в становление и развитие кафедры, в разработку комплексной Программы работ по микроэлектронике вузов СССР, в создание плана Всесоюзных межвузовских конференций по микроэлектронике (всего их было проведено 12), о его руководстве Проблемным советом по микроэлектронике, педагогической и редакционной работе, о его учебниках и книгах, работе со студентами. Лев Николаевич написал книгу об истории кафедры, которую вручил ее руководству на юбилее.  

Выступает Лев Николаевич Патрикеев